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芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

簡要描述:芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套:DIFF、ETCH、CVD、EPI部門,Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。

產(chǎn)品型號: VC-DJR-156

訪問次數(shù):1388

更新時間:2023-11-20

詳細說明:


芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套的前因:

由于半導體生產(chǎn)常常需要使用各種化學氣體,這些氣體也會隨著工藝的過程,由真空泵從反應腔體抽出,形成各種有毒有害的工藝尾氣,這些氣體如直接排到大氣中就會形成大氣污染。所以半導體生產(chǎn)廠家都需要對工藝設備尾氣進行有效的處理,以減少對環(huán)境的污染。因此,在半導體制造機臺中,尾氣處理裝置是半導體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中,氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4SF6、O2、HeBCl3等,經(jīng)過在真空反應室內(nèi)的一系列反應后,氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClxMoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶,因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會附著在排氣管的管壁上,極易對排氣管進行堵塞,同時造成排氣管的損傷。此過程會造成尾氣處理不CD,同時提高生產(chǎn)成本。

需要加熱馬甲的部門:

DIFF、ETCHCVDEPI部門,Pumping linePump exhaust管路需加裝加熱夾套。

加熱馬甲作用:

通過升高管路工作溫度,減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶,避免管路堵塞,減少PM周期,提高產(chǎn)能。

加熱馬甲溫度要求:

PVD150°、170°(也有180°)

ETCH80°-120°

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套

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形結(jié)構制作,包括法蘭,閥門,管路,泵體等,限度的減少暴露點,維持可靠安全的溫度環(huán)境,防止沉積。    

芯片、光伏、顯示屏廠保溫管道電加熱夾套整體為柔性耐腐蝕材質(zhì)制作,不燃、可在潔凈環(huán)境下使用,保溫隔熱層有效的組織了熱量的散失,功率密度分布均勻的加熱層和內(nèi)置溫度傳感器及溫度保險裝置保證了加熱溫度的均勻性和可靠性。根據(jù)被加熱體的機

構變化,由多個加熱套組成一個加熱系統(tǒng),整體對被加熱體進行加熱保溫,系統(tǒng)內(nèi)的個體加熱套可以分別拆卸反復使用,大大降低了使用和維護成本,個體加熱套之前通過專用插頭連接,組成了一個高效的保溫加熱系統(tǒng)。

根據(jù)使用要求有多種方式可對加熱系統(tǒng)進行溫度控制和安全監(jiān)護,加熱系統(tǒng)中每一個個體加熱套可獨立外掛溫控模塊進行控溫。

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